polysilicon相关论文
Bending the cost curve: leveraging aging TFT manufacturing facilities to achieve a $1000 digital X-r
Cost, quality and accessibility are major barriers to disease detection in low-income countries. For example, diagnosti......
主要介绍了在NaOH溶液中，利用电化学技术腐蚀制备多晶硅绒面的新方法。实验中，通过改变腐蚀液浓度、腐蚀电压、腐蚀温度等因素，制得一......
电荷耦合器件(CCD)多晶硅交叠区域绝缘介质对成品率和器件可靠性具有重要的影响。将氮化硅和二氧化硅作为CCD多晶硅层间复合绝缘介......
<div style=“text-align:justify;”> Smart materials and structures, especially those bio-inspired, are often characteriz......
Introduction application of Batch Process Control System in Poly Silicon Industry.Batch System, related control tech......
The bending strength of microfabricated polysilicon beams was measured by beam bending using a nanoindenter. Also, the ......
针对多晶硅生产中废气处理工艺存在的问题其进行改造,改造后废气中约有92.1%的氯硅烷被回收利用,碱液的月平均消耗量减少约500 t;......
In order to accomplish reliable mechanical design of MEMS, the influences of surface roughness and octadecyltrichlorosil......
Stress and resistivity controls on in situ boron doped LPCVD polysilicon films for high-Q MEMS appli
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用基于有限元分析方法的COMSOL 4.3a多物理场仿真软件,模拟了稳恒磁场作用下,硅熔体在多晶硅定向凝固过程中热电磁流动的变化规......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
The validity of a novel,direct and convenient method for micromechanical property measurements by beam bending using a n......
根据双管板换热器的结构特点，从设计、制造、监造与使用维护方面全过程要点剖析，对主要重点进行系统性进行阐述，并与业内人士全方位交......
The elastic modulus is a very important mechanical property in micromachined structures. Several design issues such as r......
采用动态模拟方法,研究多晶硅生产过程中还原尾气干法回收装置中吸收塔的理论板空间体积、持液量对微量杂质吸收效果的影响。模拟......
从氢气的制备技术出发,分析甲醇制氢、煤制氢、天然气制氢、水电解制氢等氢气制备技术的优缺点及多晶硅生产工艺中的氢气消耗工序,......
探讨了一种多晶硅高温压力传感器的设计方法，采用AIN作硅衬底和多晶硅力敏电阻条之间的电绝缘层，由于无p-n结，力敏电阻无反向漏电，使制......
非晶硅材料的开关速度及驱动电流小,无法用于液晶显示的驱动集成电路。而多晶硅具有两方面的优势:一是高迁移率(10～100cm~2/V·......
基于多晶硅氯硅烷罐区的常规设计按照物料种类、精馏塔类别、分析检测过程等进行储罐配置,导致储罐种类较多、危险级别高、安全风......
对四氯化硅固定床加氢工艺进行了研究,考察了反应温度、压力、n（氢气）/n（四氯化硅）、m（催化剂）/m（硅）等因素对四氯化硅转化率的影响。该工......
多晶硅作为太阳能转换电能的基础材料,近年来受到广泛关注.本文综述了生产多晶硅的各种冶金方法,主要分析各种冶金方法的特点、发......
在有源矩阵液晶显示中，目前倍受重视的应数多晶硅有源矩阵液晶显示技术，本文较详细地给出了高温多晶硅薄膜晶体管的制备工艺及其特性......
重点介绍了电子束提纯多晶硅原理、电子束提纯炉工作原理、电子束提纯炉设备结构、电子束炉熔炼时间和熔炼温度选择。在实验环境中......
四氯化硅加氢制备三氯氢硅是新一代多晶硅生产技术中实现副产物四氯化硅变换循环再利用而减少污染的重要手段。在围绕该反应的众多......
硅烷流化床法是生产太阳能级多晶硅的重要技术,流化床反应器床层内的气泡大小和分布特性是影响晶体硅纯度和致密度的关键因素。使......
不同退火的过程在上的效果光电(PV ) 性质并且光谱在 unanalyzed PF5 离子培植 poly-Si 太阳能电池的体积的反应以及少数搬运人一......
Hydrodynamics of Continuous Spiral Dryer with Rotatory Conical Sleeves: Experiments versus CFD Simul
In this study, a continuous and airtight twinspiral dryer was developed in accordance with the characteristics and chall......
根据相关热力学数据，首先计算并拟合得到Si-C1-H三元系中气相Cl与H原子的摩尔LL（ncl／nH）与反应达到平衡时的气相Si与C1原子的摩尔比（nsi......
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性，是制作力学量传感器的理想压阻材料．为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性，就淀......
测定了椰壳活性炭对多晶硅回收H2中的HCl、Si HCl3和Si Cl4的吸附等温曲线,并用Freundlich方程进行了拟合。在此基础上运用ASPEN A......
应用相关热力学数据研究了改良西门子法还原炉内涉及到的＂Si—Cl—H＂三元系复杂化学反应,进一步研究了温度、压强和初始进料摩尔比n（H......
A unified model of low temperature current gain of polysilicon emitter bipolar transistors based on effective recombinat......
通过对多晶硅行业工作环境的分析，提出硅粉介质工况下硬密封球阀的一些设计思路。通过分析得出，与常规硬密封球阀相比，多晶硅行业中应......
改良西门子法多晶硅还原生产是一个连续过程,接地已是导致还原生产过程中断的主要因素。针对各种因素的接地问题,提出一种新型计算......
在研制多功能集成压力传感器过程中,对关键材料多晶硅来说,制备的工艺条件对其性能影响较大.讨论了沉积温度、反应气体流量和反应......
为研究高重频皮秒脉冲激光对多晶硅的损伤特性,用不同重复频率的皮秒脉冲激光辐照多晶硅,用扫描电子显微镜对激光辐照后多晶硅的损......
结合活性炭吸附器的应用现状,从活性炭吸附器的工艺性能和设备结构两个方面进行优化设计,设计了一种内置承插式换热组件的新型多晶......
研究了ＡｌＮ基片上重掺杂硼的多晶硅膜电阻率温度特性，实验发现，膜电阻率随温度变化呈出从ＮＴＣ过渡到ＰＴＣ的Ｕ型特性，转折温度ＴＭ的位置依赖工艺条件的变......
为了降低光的反射,应用染色腐蚀法制备多晶硅的绒面.对多晶硅的绒面进行了反射率和SEM形貌测量.在适当的腐蚀液中制备的3×3 c......
介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计的原理，设计，制作工艺及粘贴方法，它的特点是耐高温（可用在温度达250℃的环境中），......
列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点.对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补......
介绍了多晶硅薄膜中的残余应力对微结构性能的影响，分析了应力在线测量技术的必要性。说明了T型微检测结构的测试原理，并基于单T型结......
介绍一种以氮化硅薄膜为压力敏感膜、多晶硅为电阻应变计的压力传感器。该压力传感器先后采用2种不同的平面加工工艺进行加工，实际......
介绍国内外多晶硅的生产和消费情况,对未来市场需求进行了预测。分析了我国多晶硅生产优势和存在的问题,并对我国发展多晶硅产业给......
目前国内多晶硅生产中，还原炉多采用高电压击穿的方式启动，但国外多晶硅生产中多采用低电压击穿，一些进口还原炉采用了低电压启动的结......
对在氢化非晶硅薄膜(a-Si:H)上溅射金属Ni的样品进行金属诱导晶化(MIC)/金属诱导横向晶化(MILC),制备多晶硅薄膜(p-Si)的工艺及薄......
文章介绍了一种太阳能电源供电方案，解决了偏远阀室无电的难题。...
制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器......
